Los circuitos  MMI o MMIC (Monolithic  Microwave Integrated Circuits) son un tipo de circuitos integrados que operan  en frecuencias de microondas, es decir,  entre 300 MHz y 300 GHz. La técnica de fabricación de los circuitos MMIC se  basa en la utilización de líneas de transmisión planares, y se realiza con  compuestos de semiconductores compuestos, tales como el arsenurio de  galio (GaAS), nitrato de galio (GaN) y el germanio de silicio (SiGe).
Las entradas y  salidas de los dispositivos MMIC se adaptan, generalmente, con una impedancia  característica de 50 ohmios. Esto facilita el uso de dichos dispositivos, así  como su uso en forma de cascada, ya que no requieren red de adaptación externa.  Adicionalmente, la mayoría de los equipamientos de pruebas de microondas se  diseñan para operar en unas condiciones de 50 ohmios.
Los MMIC son  dimensionalmente pequeños (desde 1 mm2 a 10 mm2) y pueden ser producidos a gran  escala, lo que ha facilitado su proliferación en dispositivos de alta  frecuencia, como pueden ser los teléfonos móviles.
1. Historia
Entre 1930 y 1960 la tecnología de microondas  consistía en la utilización de guías de ondas para la creación de circuitos, lo  que conllevaba que el proceso de fabricación fuese largo y costoso. La  revolución aparece sobre 1960 con la aparición de la tecnología planar y la  producción de materiales dieléctricos más baratos y con menos pérdidas, dando lugar  a la tecnología MIC (Microwaves Integrated Circuits).
Ésta tecnología evoluciona a los MIC monolíticos  (MMIC) cuando en 1975 Ray Pengelly y James Turner publican su estudio  "Monolithic Broadband GaAs FETAmplifiers",  convirtiéndose así en los padres e inventores de los MMIC. Cuando trabajaban en  Plessey diseñaron un amplificador de una sola etapa con una ganancia de 5 dB en  la banda X que usaba puertas de escritura óptica de 1 micrón. Usaban sistemas  de optimización por ordenador para diseñar su elemento, haciendo uniones de  estructuras. El proceso de "backside" todavía no había sido inventado, así que  los FET tenían toma de tierra externa.
Los primeros MMIC se fabricaron de Arseniuro de Galio  (GaAs), el cual tiene dos ventajas fundamentales frente al Silicio (Si), que es  el material tradicional para la fabricación de circuitos integrados: la  velocidad del dispositivo y el sustrato semi-aislante. Este tipo de circuito  usa una solución cristalina para el dieléctrico y la capa activa. El GaAs es  útil gracias a su capacidad para trabajar en altas frecuencias y a que su alta  resistividad evita interferencias entre dispositivos. Esto permite la  integración de dispositivos activos (radiofrecuencia), líneas de transmisión y  elementos pasivos en un único sustrato.
En los años 80, la Agencia de Proyectos Avanzados de  Investigación de Defensa (DARPA) empezó a realizar un gran esfuerzo para  obtener un mayor desarrollo de los circuitos integrados de microondas para  sustituir los tubos, cavidades y dispositivos discretos usados en sistemas de  telecomunicación y radar. Bajo contratación de DARPA, Northrop Grumman  Corporation (antiguamente TRW) consiguió producir con éxito MMICs de GaAs  usando Transistores de Alta Movilidad Electrónica (HEMT) y Transistores  Bipolares de Unión Heterogénea (HBT).
En los primeros MMICs, todos los circuitos estaban  hechos con GaAs MESFET, diodos IMPATT (Impact Ionization Avalanche Transit  Time) y diodos varactores, pero con la maduración de la tecnología GaAs se  incrementa el uso de Hits, HEMTs y PHEMTs en aplicaciones nicho. En la  siguiente tabla se tiene los circuitos usados comúnmente en cada dispositivo,  además de los fallos originados en la mayoría dispositivos activos de los MMIC.
Dibujo 1
La importancia del Arseniuro de Galio semi-aislante se  basa en que los dispositivos hechos del mismo mediante implantación directa de  iones están semi-isolados, por eso está adaptado a la fabricación de circuitos  integrados. Además, el sustrato semi-aislante produce reducidas capacitancias  paarásitas, siendo así dispositivos más rápidos y que permiten la  implementación de MMIC.
Sin embargo, la velocidad de las tecnologías de  Silicio ha ido incrementándose al mismo tiempo que el tamaño de los  transistores ha ido disminuyendo, es por este motivo que es posible construir  MMIC con este material. Es muy importante este hecho, ya que la principal  ventaja de la tecnología de Silicio es el coste, y los MMIC de Silicio abaratan  costes frente a sus homónimos de Arseniuro de Galio. Otro de los factores que  abaratan costes si se emplea Silicio en la fabricación en lugar de Arseniuro de  Galio, es que los diámetros de la oblea son ligeramente mayores (de 8 a 12  pulgadas, frente a las 4 o 6 que se emplean para Arseniuro de Galio). Todos  estos factores colaboran en abaratar los precios en la fabricación de los  circuitos integrados.
Hasta el momento se han mentado el Silicio y el  Arseniuro de Galio en la fabricación de MMIC, pero no sólo se emplean estos  materiales. También se utiliza, por ejemplo, el Fosfato de Indio, que mejora la  ganancia, la frecuencia de corte y produce ruidos más bajos. Pero es, debido a  su alto coste y la fragilidad de los materiales, ya que las obleas hechas de  este material tienen que ser más pequeñas, que no sea muy extendido su uso.  Otro de los materiales que puede usarse para este tipo de circuitos integrados  es el Germanio de Silicio (SiGe) que ofrece más altas velocidades que los  dispositivos de silicio convencionales, pero ventajas de coste similares. Por otra  parte el GaAs posee propiedades que eliminan la diafonía, por lo que se integra  en dispositivos de radio, líneas de transmisión…
En comparación con otras tecnologías de microondas,  los MMIC de GaAs ofrece las siguientes ventajas:
- Reducción de tamaño.
 - Reducción de costes para volúmenes de producción medio-altos
 - Mejora de las características de los sistemas por la inclusión de       algunas funciones como lógicas, RF,.. en un único circuito
 - Mejora de la reproducibilidad, debido al procesamiento e integración uniforme       para todas las partes del circuito.
 - Mejora del diseño sin necesidad de realizar numerosas iteraciones,       debido a la reproducibilidad y al diseño asistido por ordenador.
 - Mayor rango de frecuencias, reduciendo efectos parasitarios en los       dispositivos.
 
2. Fabricación
Desde hace unas cuantas décadas, los circuitos de  microondas de estado sólido eran fabricados exclusivamente en base a  componentes discretos que incluían dispositivos de circuitos activos de semiconductor como transistores y diodos. Incluso hoy, el mercado es compartido entre los antiguos diseños y los nuevos.  Mientras que los componentes discretos son hechos en base a tecnologías  bipolares de silicio, los circuitos MMIC son hechos principalmente de arseniuro de  galio (GaAs).
Los circuitos MMIC ofrecen mejoras de ancho de banda  sobre los circuitos hechos en base a componentes integrados. La razón de esto  es que se evitan pérdidas eléctricas y capacidades parásitas al poderse colocar  las redes de acoplamiento más próximamente a los transistores. Este efecto produce un gran avance en la fiabilidad de las aplicaciones  que requieren un gran número de elementos. En estas aplicaciones cada módulo  del sistema de arrays puede necesitar cerca de tres chips que incorporen  amplificadores de potencia, amplificadores de bajo ruido y desplazadores de  fase. Los beneficios de la integración de aplicaciones de microondas hasta ahora han sido exclusivamente para los dispositivos de arseniuro de  galio. Una razón de que el arseniuro de galio haya sido  elegido para este tipo de aplicaciones es que este material tiene una alta  movilidad de electrones que incrementa el rendimiento de los dispositivos a altas  frecuencias. Mientras que los transistores bipolares pueden ser utilizados a  frecuencias de microondas, los circuitos integrados que tienen una movilidad deelectrones más baja son generalmente inferiores en frecuencias de microondas. La movilidad de los electrones no es el único parámetro a  favor del arseniuro de galio. La gran capacidad de aislamiento del arseniuro de  galio también debe ser tomada en cuenta. Ordinariamente  el material de silicio es varios órdenes de magnitud más conductivo que el arseniuro de  galio limitando esta característica la ganancia máxima  que puede estar disponible a altas frecuencias por dispositivos de silicio.  Este aislamiento inhibe corrientes parásitas entre electrodos de transistores  en el mismo chip que de otra forma afectarían su rendimiento como un circuito de  microondas integrado.
Históricamente, y a pesar de los avances en arseniuro de  galio descritos más arriba, la utilización de este  materias a gran escala ha sido lento debidos a los problemas de fabricación.  Estos problemas han incluido la indisponibilidad de material de substrato de arseniuro de  galio de gran calidad. Métodos de fabricación no  orientados hacia las obleas de rápida respuesta que en silicio han tendido  hacia la evolución de una tecnología de fabricación competitiva, y los  problemas básicos con un compuesto de semiconductor frente a uno simple. Estos se reflejan en la dificultad del  procedimiento de control y ceden en mantenimiento que afecta al coste por  unidad. Además de esto la fragilidad física y química del material que hace más  compleja la fabricación incluso desde sus inicios. Las obleas de arseniuro de  galio se destacan por su fragilidad que desemboca en  que sólo la mitad de las obleas sobreviven desde las primeras pruebas deradiofrecuencia. Mientras que la industria de silicio se orienta hacia las obleas de 200  mm, el arseniuro de  galio están disponibles desde los 75 mm de diámetro  con un coste muy superior al silicio. Hoy en día la producción de arseniuro de galio es  una pequeña parte del mercado para dispositivos de silicio. Por lo tanto la penalización en costes asociada con el mayor rendimiento  del arseniuro de galio es un punto en contra.
Un subconjunto de la tecnología CMOS es llamada SOI (Silicon On Insulator). Durante la última década, las  implementaciones de SOI se han convertido en las preferidas para fabricar  circuitos integrados de señal de alta radiación. Un subconjunto de SIO es el  SOS (Silicon On Sapphire). Esta tecnología conduce al endurecimiento de los  requisitos para mejorar el aislamiento electrónico de los componentes en el  substrato. En particular, la distribución del exceso de electrones creada por  el bombardeo de radiación es confinada a fin de evitar que cause sobrecargas o  errores "débiles". La misma técnica ofrece una gran mejora en frecuencia. Aun  así el problema con la tecnología SOS es que posee una interfaz electrónica  imperfecta entre el aislante sobre la que el silicio se deposita y el mismo  silicio. Esto resulta en un efecto de "canal de lagunas". Mientras que las  imperfecciones relacionadas con este efecto no dificultan la radiación por sí  solas, tienden a deteriorar el dispositivo con respecto a su rendimiento  habitual y pueden afectar gravemente las especificaciones normales del  circuito. Este efecto puede ser particularmente desastroso en frecuencias de  microondas ya que limita la ganancia máxima disponible. Aparte de estas  limitaciones el grosor mínimo del dispositivo que puede ser aislado es una  contrapartida. Sin embargo hoy en día hay alternativas al silicio sobre zafiro.
En los últimos años una nueva tecnología de materiales  de silicio SOI se ha desarrollado. Se llama "Separación por Implantación en  Oxígeno" (SIMOX). Para hacer una oblea en esta tecnología se implanta una gran  cantidad de oxígeno sobre la sperficie de la oblea. Templando esta superficie  convierte esta superficie en una película de cristal aislante. La ventaja de  esta técnica sobre el SOS es la disminución del grosor de la capa activa  confinando los efectos de la radiación de ionización. Los efectos del efecto de  lagunas también es minimizado. Sin embargo, aunque los dispositivos activos  están desacoplados del substrato literalmente, permanecen acoplados en cuanto a  efectos de capacitancia y por tanto unos con respecto a otros en frecuencias de  microondas a causa de las propiedades conductivas del substrato. En otras  palabras, a pesar de la capa de aislamiento, inclusive los dispositivos SIMOX  no son idóneos para su utilización en circuitos de microondas debido a que el silicio bajo la capa de aislamiento tiene propiedades  conductivas a frecuencias de microondas.
A fin de aumentar el rendimiento y disminuir la  limitación de costes de las tecnologías actuales, esta técnica permite mejorar  la fabricación de circuitos monolíticos en silicio que son capaces de operar en  frecuencias de microondas se utilizará un sustrato de silicio de alta  resistividad , que se obtiene con una técnica de zona flotante que implanta una  capa de aislamiento cerca de su superficie superior, preferiblemente SIMOX. Se  forja un plano conductivo en el fondo del sustrato y se forja un circuito en la  capa activa de silicio que permanece sobre la capa SIMOX de aislamiento.
Las tecnologías que incrementan el rendimiento en  altas frecuencias del MICROX comprenden:
- Una superficie inferior de rectificación de contacto.
 - Replicación de circuitos usando litografía.
 - Bajo coste microstrip.
 - Capa de nitrato en el fondo de la oblea durante el procesamiento CMOS.
 
Este método de fabricación se llama MICROX. Esta  técnica conlleva unos costes más de fabricación sobre silicio de circuitos  integrados que son operativos a frecuencias de gigahercios. Como toda  tecnología basada en silicio, MICROX saca partido de la amplia infraestructura  de fabricación que conllevan los dispositivos modernos. Para aplicaciones que  necesitan de un gran número de dispositivos como los sistemas de comunicaciones  modernos, la implementación de dispositivos MICROX puede hacer disponible  grandes cantidades de circuitos integrados para aplicaciones de microondas.
Quizás la ventaja más importante de GaAs es que sus  electrones son acelerados a velocidades más altas, por lo que atraviesan el  canal de transistor en menos tiempo. Esta mejora de la movilidad de electrones  es la propiedad fundamental que permite trabajar a frecuencias más altas y  velocidades de conmutación más rápidas. Mientras que la principal razón de  hacer transistores de GaAs es la mayor velocidad en el funcionamiento, que se  consigue con una frecuencia máxima de operación más alta o velocidades de  conmutación más altas, las propiedades físicas y químicas de GaAs hacen que su  empleo en la fabricación de transistores sea difícil. Los inconvenientes del  GaAs son una conductividad térmica inferior y un coeficiente de expansión  térmica más alto que el silicio y el germanio. Sin embargo, como las nuevas  aplicaciones de mercado exigieron el funcionamiento más alto que podría ser  alcanzado sólo con la máxima dinámica de los electrones de GaAs, estos obstáculos  han sido vencidos. Los mercados que llevaron a los avances en el crecimiento  del material y las técnicas de fabricación de semiconductores de GaAs son la  industria de defensa y espaciales. Estas requirieron sistemas con circuitos de  frecuencia más alta para radares, comunicaciones seguras, y sensores. La  madurez de GaAs condujo a la aparición de nuevos mercados, como redes locales  inalámbricas (WLANs), sistemas de comunicación personales (PCSs), el satélite  de difusión directa (DBS) la transmisión y la recepción por el consumidor,  sistemas de posicionamiento global (GPS) y la comunicación global celular.  Estos mercados comerciales requirieron la introducción de tecnología basada en  GaAs para encontrar utilidades a los sistemas que no eran alcanzables con el  silicio y el germanio. Una desventaja del GaAs es el coste y la disponibilidad  respecto al silicio. Existen muchas reticencias en lo relativo al uso del GaAs  como pueden ser: -El entendimiento de los mecanismos a la hora de implementar  sistemas de silicio es más sencillo -El coste del GaAs es mucho más elevado que  el del silicio -El uso del silicio en sistemas de baja frecuencia, y en  sistemas de integración a gran escala ha desarrollado técnicas muy fuertes para  producción industrial. Sin embargo cuando el coste de fabricación es comparado  al funcionamiento, el valor añadido al sistema al usar tecnología GaAs en la  mayoría de los casos justifica los pagos producidos por el aumento del coste de  fabricación. Al tiempo que WLAN, PCS, DBS, el GPS, y mercados celulares crecen,  el coste para fabricar GaAs disminuirá, y la duda de usar GaAs más que el  silicio dependerá de la capacidad de GaAs de satisfacer las necesidades  técnicas del mercado.
Los diodos PIN (p-type-insulator-n-type) de GaAs no  estaba disponible para los diseñadores de MMIC. Ésta se debía a su rápida  velocidad de transferencia, su alto voltaje de corte y a una resistencia  variable perjudicial.
Esta indisponibilidad de las regiones tipo-p del GaAs  cambiaron con el GaAs HTB MMIC. Con el buen rendimiento de los HBTs, la  implantación de iones tipo-p y el crecimiento MBE se están incorporando ahora a  las fábricas de producción de GaAs. Mediante el uso de la capa base p+, la  región colectora n-, y la capa de contacto ohmica del colector n+ del HBT, como  se muestra en la figura, los MMIC con diodos PIN se pueden fabricar fácilmente  en la línea de fabricación de GaAs HBT.
Dibujo 2
2. 1. Tecnología de Fabricación SIGe
Dibujo 3
Tecnología SIGe 0,35 micrometros de AMS.
Es un tecnología innovadora que ofrece menos ruido que  otras alternativas de silicio y rendimiento comparables a los dispositivos más  caros GaAs.
Con esta nueva tecnología se aumentará enormemente la  sensibilidad del sistema, y los usuarios de 3G, GPS, televisión móvil o  dispositivos portátiles no sólo encontrarán funciones como la recepción de  datos de alta velocidad, navegación o los servicios de televisión descritos en  el manual, sino que además podrán usar esas características, incluso en  condiciones difíciles, por ejemplo, en el interior de un edificio o espacios  cerrados.
3. ¿Cuáles son las principales ventajas y  desventajas de la tecnología MMIC?
Posiblemente la principal ventaja de los circuitos  integrados de microondas monolíticas (MMIC) para soluciones discretas sea que  con esta tecnología se consigue una figura de  ruido menor.Otra gran ventaja es la combinación de  funciones multicircuitales sin necesidad interconexión cableada, lo que permite  la producción de líneas microstrip compactas.
En la tecnología MMIC, tanto los componentes activos como  los pasivos son creados en el propio sustrato, con lo que reduce en gran medida  el tamaño del circuito y los problemas que tenía la tecnología MIC o híbrida.
Sin embargo, estas soluciones discretas tienen también  sus propias desventajas, especialmente en las aplicaciones portátiles modernas  con circuitería compactada y períodos de implantación en el mercado muy cortos.  Otra desventaja es que una vez creado el circuito es muy poco ajustable, la  mayoría de sus características de funcionamiento no son modificables, por lo  que el proceso de diseño ha de ser muy exhaustivo y requiere modelos precisos  de física y química para elementos activos y pasivos. Dicho proceso requiere de  programas software que permitan sintetizar, analizar y perfilar circuitos lineales  y no lineales.
Es por eso que muchos fabricantes poseen "bibliotecas"  con modelos existentes, que permiten al diseñador de MMIC saber la actuación  esperada por parte de un dispositivo sin tener que caracterizarlo  experimentalmente.
Se podrían resumir los beneficios y mejoras de la  figura de ruido con las siguientes especificaciones típicas de este tipo de  circuitos integrados:
- Mayor linealidad y bajo ruido
 - La integración del circuito de corriente, el cual simplifica el diseño       de la red de acoplamiento.
 - Realimentación interna, la cual facilita la adaptación de impedancias       a lo largo de un ancho de
 
banda mayor.
- Estabilidad incondicional a lo largo de un mayor rango de frecuencias
 - El modo de ganancia FET requiere solo una toma positiva
 
Todos estos beneficios se traducen en un circuito  compacto con un ciclo de diseño menor si se compara con su aproximación  discreta, lo cual los hace más apropiados para soluciones portátiles con  limitaciones de espacio.
Las características de los sistemas que operan en las  bandas de RF y Microondas pueden ser optimizadas mediante la integración de  componentes en MMIC (Microwave Monolithic Integrated Circuits). Es corriente  usar componentes "off the shelf" pero a costa de aumentar la complejidad y el  coste del diseño. El uso de componentes MMIC es un medio rápido y efectivo en  coste. Sin embargo cuando se trata de diseñar MMICs a medida hay que tener en  cuenta que su coste y tiempo de desarrollo son importantes por lo que solo en  casos de grandes series o en aplicaciones especiales como en espacio, es  aconsejable.
Mediante el uso de soluciones MMIC a medida se pueden  mejorar las características del sistema, así como la funcionalidad y  fiabilidad. Además se reduce el número de componentes, el tamaño del circuito,  peso y consumo de potencia, así como los tiempos de ensamblado.
4. Algunas aplicaciones de la tecnología MMIC
4. 1. Amplificadores MMIC en la banda Ka de banda  ancha
Los sistemas de comunicaciones que requieren grandes  capacidades en la banda milimétrica están teniendo un gran desarrollo como por  ejemplo los sistemas de banda ancha para la distribución de señales de vídeo  sin cable tales como LMDS(Local Multipoint Distribution System) que operan en  la banda de 28 GHz. Para satisfacer esta demanda el diseño circuitos integrados  monolíticos de microondas (MMIC) es de gran interés ya que poseen ventajas en  cuanto a miniaturización, gran repetitividad, bajo coste en grandes producciones y mayor fiabilidad  debido al reducido número de interconexiones.
4. 2. Amplificador MMIC de ganancia variable y  baja distorsión
Son amplificadores utilizados sobre todo en sistemas  de comunicaciones. Estos amplificadores son muy lineales, debido a su  realimentación negativa y al ser creado con tecnología MMIC, las frecuencias de  trabajo llegan hasta la banda Ka. Su principal ventaja es que reduce de manera  efectiva el efecto del retardo de fase y los productos de intermodulación (hasta  40dB en los productos de intermodulación de 3er orden). Debido a estas  características, son muy utilizados en sistemas digitales con modulaciones QAM.
4. 3. Amplificadores de potencia
Debido a la división de potencia y a la combinación de  redes, los MMIC tienen  unas pérdidas de 0,5-1 dB y la impedancia de entrada disminuye con el  incremento del número de puertas, el grado de división de potencia y de  combinaciones pueden usarse para incrementar el límite del nivel de potencia.
Los amplificadores de potencia deben trabajar con  potencias altas a la entrada y a la salida, y su tensión máxima está limitada  por la tensión de ruptura, por lo que conviene que este valor sea alto en los transistores. Los FETs y HBTs de puerta o emisores limitarán la corriente en cada  transistor, convirtiendo las pérdidas por resistividad en calor y reduciendo la  fiabilidad del dispositivo. Para aumentarla, es necesario emplear puertas o  emisores en paralelo para incrementar el área de emisión y reducir la  resistencia. Pero esto provoca que el tamaño del dispositivo aumente al hacer  que los elementos del transistor estén lo suficientemente separados para que se  dé la disipación térmica adecuada.
Los amplificadores de potencia diseñados con varias  fases (una de ellas es un transistor o una combinación en paralelo de éstos)  permiten agrupar las limitaciones térmicas y de corriente, y el voltaje de  pico. El número de fases depende de las especificaciones de ganancia y  frecuencia, ya que la potencia de salida disminuye con el aumento de  frecuencia.
Los dispositivos pasivos y activos de microondas  suelen derivar de la medida deparámetros S en un analizador vectorial.  Estos modelos son buenos para circuitos de baja potencia, pero los transistores  exhiben una cierta falta de linealidad, por lo que hay que realizar diseños no  lineales para diseños de alta potencia. Además, esta no linealidad provoca distorsión  de intermodulación (IMD), medida en dB, que es la potencia en frecuencias  distintas a la de entrada: 2fRF, 3fRF, etc. Hay que tener en cuenta estas  frecuencias para evitar problemas con el circuito.
Los amplificadores de potencia, además, se pueden  dividir en varias clases:
Etapa clase A: El dispositivo se polariza en una zona de respuesta lineal, con  capacidad de responder a señales de cualquier polaridad. Su principal ventaja  es que sigue un modelo de amplificador lineal convencional. Su desventaja es  que aún con señal nula disipa una cantidad considerable de potencia.
Etapa clase B: El dispositivo se polariza en el extremo de la zona de respuesta  lineal, y en consecuencia sólo tiene capacidad de responder a señales con una  determinada polaridad. En estas etapas no se produce disipación de potencia cuando la señal es  nula, pero requiere la utilización de etapas complementarias para pode generar  una respuesta bipolar.
Etapa clase AB: El dispositivo se polariza en la zona lineal pero en un punto muy  próximo al extremo de respuesta lineal. Esta configuración es una variante de  la etapa de tipo B en la que se sacrifica la disipación de una pequeña cantidad  de potencia cuando opera sin señal, a cambio de evitar la zona muerta de  respuesta.
Etapa clase C: El dispositivo se polariza en zona de respuesta no lineal, de forma  que los dispositivos activos sólo conducen en una fracción reducida del periodo  de la señal. De esta forma se consiguen rendimientos máximos, aunque se  necesitan elementos reactivos que acumulen la energía durante la conducción y  la liberen en el resto del ciclo en el que el dispositivo no conduce. Se puede  utilizar para amplificar señales de banda muy estrecha.
4. 4. Amplificadores de bajo ruido
La función principal de un amplificador de bajo ruido  (LNA) es la de amplificar señales extremadamente pequeñas tratando de añadir la  menor cantidad de ruido posible, esto es, preservando el nivel de relación  señal a ruido (SNR) del sistema.
Para su diseño se debe tener en cuenta la ganancia  disponible en cada transistor en función de su tamaño y del punto de  polarización, en cuanto a su actuación, el criterio más importante será la  figura de ruido. Para conseguir una figura baja, se emplean transistores HEMTs  y PHEMTs, y para minimizar dicha figura se utilizan además puertas pequeñas,  incluyendo puertas parásitas (de 0,1 a 0,25 mm).
Para reducir la figura de ruido del sistema es  importante reducir las pérdidas de circuito, especialmente antes de la primera  parte del amplificador de ruido bajo. También se puede minimizar reduciendo los  valores de ruptura de temperatura, corriente y tensión, ya que los problemas  térmicos, asi como las corrientes y voltajes de ruptura que afectan al  amplificador de potencia no afectan al amplificador de bajo ruido, al ser de  menor potencia. Por tanto la minimización de la figura de ruido maximiza la  ganancia.
4. 5. Mezcladores
El mezclador convierte la señal de entrada con una  frecuencia en una señal de salida con frecuencia distinta que permita el  filtrado, el desfasaje y otras operaciones de procesamiento de datos en los  circuitos. Idealmente, esta operación no afectaría a la amplitud de la seña ni  introduciría ruido.
La conversión de frecuencia se consigue con dispositivos  con características no lineales de corriente y tensión. En un principio, estos  mezcladores eran creados usando diodos, pero actualmente se emplean MESFETs,  HEMTs, y PHEMTs.
En el caso de los mezcladores con diodos, si dos  señales de tensión, llamadas LO y RF, se colocan en los terminales del diodo,  se obtendrá una frecuencia igual a la diferencia de las de cada señal llamada  frecuencia inmediata (IF).
Para mejorar la actuación del sistema, es necesario  eliminar el ruido y los armónicos, que crean distrosiones, de las señales RF y  LO. Los circuitos más complejos permiten cancelar las componentes de frecuencia  no deseadas y ayudan a eliminar el ruido variando la amplitud de la señal LO.  Como inconveniente, se requiere mayor potencia LO, que es difícil de obtener a  altas frecuencias.
4. 6. Osciladores
Para minimizar el ruido de fase, se requiere  resonantes de alta-Q que fijen la frecuencia de oscilación aportando un  coeficiente de reflexión mayor que en un ancho de banda muy estrecho y se  requiere transistores con bajo ruido 1/f. En los MMICs el desarrollo de los  resonadores de alta-Q es el más difícil de obtener de los elementos desde la  película estrecha en sustratos finos de GaAs teniendo una alta pérdida de  conducción. Los HBTs tienen un bajo ruido 1/f y son usados frecuentemente como  osciladores. Los cambios de temperatura pueden producir cambios en las  características del transistor y causar cambios en la frecuencia de oscilación  o incluso detener la oscilación. La compensación de temperaturas se puede realizar  a través de diodos varactores o de elementos controlables con sensores y  circuitos de control.
4. 7. Desplazadores de fase (Phase Shifter)
Los desplazadores de fase son usados para comunicar un  cambio repetible y controlable de fase en la señal de microondas sin que tenga  repercusión en la amplitud de la señal. Además se suelen usar con arrays de  antenas en fase, donde se usan para controlar la forma y la dirección del haz,  también se usan en sistemas de comunicación, en sistemas rádar y en  instrumentación de microondas. Se suelen usar dos métodos para el cambio de  fase en MMICs. El primer método conmuta la señal entre una longitud corta y una  larga de la línea de transmisión para mejorar el desplazamiento de fase de β·l  donde β es la constante de propagación de la línea de transmisión y l es el  diferencial de longitud de la línea de transmisión. A este tipo de desplazador  de fase se le llama switched-line phaser shifter. El segundo método cambia la  reactancia de la líneas de transmisión, por lo que los cambios en la  propagación son constantes a lo largo de la línea. La implementación de MMIC  desplazador de fase es caracterizada como tipo de reflexión o como tipo de  transmisión. Hay tres implementaciones que se usan comúnmente: pareado híbrido,  línea cargada y línea conmutada.
5. Encapsulado
El encapsulado sirve para integrar el conjunto de  componentes que componen el MMIC de forma que se reduzca al mínimo el tamaño,  el coste, la masa y la complejidad; se proporcione interfaces eléctricos y  térmicos entre el MMIC y el exterior y se asegure la fiabilidad de los  componentes individuales y la del MMIC en conjunto. En resumen, las funciones  del encapsulado son proporcionar soporte físico, proporcionar protección  mecánica (arañazos, aceleraciones bruscas, etc.), proporcionar protección del  ambiente (partículas, radiación, humedad, etc.), proporcionar distribución de  energía y de la señal y estabilizar térmicamente el conjunto.
Los encapsulados se pueden dividir en los siguientes  grupos básicos.
5. 1. Encapsulado flip-chip
El análisis de elementos finitos y los estudios  experimentales han demostrado que los chips de gran longitud y pequeña altura  tienden a fallar más rápidamente que los menos largos y más altos. La  fiabilidad de estos flip-chip está determinada por el coeficiente de expansión  térmica (CTE) entre el chip y el sustrato cerámico o el circuito orgánico. La  diferencia induce tensiones mecánicas y térmicas muy grandes, especialmente en  las juntas, donde la distancia es la mayor desde la distancia del punto neutral  (DNP) del chip. Esta tensión provoca la aparición de fisuras en las juntas,  incrementando la resistencia de contacto, inhibiendo el flujo de corriente y  llevando al fallo eléctrico del chip. Por tanto, la desventaja de elegir una  altura mayor consiste en introducir una inductancia en serie que degrada la  actuación en alta frecuencia e incrementa la resistencia térmica desde el MMIC  hasta el portador.
Para mejorar la fiabilidad, se aplica el encapsulado  cerca del chip y se conduce por acción capilar en el espacio entre el chip y su  portador.
Para compensar la tensión producida, es necesario que  haya una buena adherencia entre el material de relleno, el portador y la  superficie del chip. Para evitar pérdida de adherencia, se requiere un proceso  de ensamblado flip-chip sin flujos. Esto es posible con portadores cerámicos  con oro, plata y películas gruesas de paladio-plata y a través de metalización.
Es deseable que no haya bolsas de aire ni vacío,  especialmente estos últimos al producir una tensión aún mayor. Por ello, tras  el ensamblaje se realiza una revisión acústica microscópica para localizar  estos vacíos. El encapsulado también debe ser revisado para buscar microfisuras  o fallos de la superficie, que tienen a propagarse en los ciclos térmicos,  llevando al mal funcionamiento del chip.
5. 2. Encapsulado de multichip módulo-dieléctrico
Los polímeros y los polímidos son los materiales más  usados al crear encapsulado de multichip módulo-dieléctrico (MCM-D). Estos  materiales absorben humedad en distinto grado. Los materiales con la menor  absorción de humedad contienen un 0,5% de agua, mientras que otros tienen hasta  un 4%. Las pruebas de longevidad en estructuras troqueladas con aluminio con  varios polímeros mostraron fallos en la interacción entre el aluminio y el  agua. Para polímidos, la vida media de la estructura de Al se sitúa entre 385 y  6950 horas, a 121 °C y 99,6% de humedad relativa y a 85 °C y 85% de humedad  relativa respectivamente. La pasivación incrementa esta vida útil y no es  dañada por el uso de cubierta hecha de polímero. Por tanto, la pasivación en el  troquelado reduce los fallos por humedad y las cubiertas de polímero no son  sustitutos para el encapsulado hermético.
El uso de polímero en el sustrato provoca en la  interfaz una serie de tensiones debidas a diferencias de CTE entre los  materiales, superando incluso la temperatura ambiente, llegando hasta los 300  °C de temperatura de proceso. La optimización del proceso puede minimizar este  efecto negativo. Como las dificultades están relacionadas tanto con la  diferencia de CTE como con el grosor del polímero o polímido usado, se  recomienda que la base cerámica sea 20 veces más gruesa (en semiconductores es  mayor).
El sistema de metal usado en MCM-D debe ser  optimizado. Normalmente se usa cobre (Cu) en todas las líneas DC y RF debido a  su bajo coste y alta conductividad eléctrica. Pero el cobre se difunde  rápidamente en el polímido. Este proceso depende de la temperatura y a  temperaturas de menos de 185 °C se da esto para el cobre. A mayor temperatura,  se observará que la anchura de la línea se reduce aún más. El peor caso se da  si la línea de Cu está justo encima de la superficie del polímero. También hay  que destacar la falta de adhesión del cobre al polímero. Para minimizar estos  problemas se utiliza Cr, Au o Ti como barrera de difusión entre el cobre y el  polímido, aunque en el caso del cromo las propiedades mecánicas son bastante  peores.
Los huecos-vía sirven para realizar una mayor cantidad  de conexiones entre niveles. Estos huecos pueden hacerse con láser o ataques  con ácido en ambientes húmedos o secos.
En muchos procesos de fabricación se observa que los  polímeros se conectan sobre los MMICs y otros chips que han de interconectarse.  Aunque sean finos, estos polímeros afectan a la actuación en microondas del  MMIC, ya que aumentará la capacitancia de línea, reduciendo la longitud de onda  guiada.
5. 3. Encapsulado plástico
Durante el proceso de soldado a altas temperaturas se  observó que la humedad presente en un encapsulado plástico puede evaporarse  rápidamente y crear presión en el encapsulado, provocando fisuras. Estos  efectos son más pronunciados si el encapsulado es mayor que el 0,23% de la humedad  absorbida antes de la soldadura. La diferencia de CTE en los componentes del  encapsulado también provoca tensión, combinándose con la presión anterior y  aumentando el tamaño y número de fisuras.
Las siguientes recomendaciones permitirán un daño  mínimo por humedad:
(1) Completar el ensamblaje a la palca una semana  después de retirar los componentes de sus envoltorios secos, siempre que las  condiciones ambientales no superen los 30 °C ni el 60% de humedad relativa.
(2) Una semana después, proceder a la cocción (12  horas a 115 °C) que gradualmente eliminará la humedad.
5. 4. Encapsulado de resonancia y escape de campo
La actuación del encapsulado MMIC empeora por acción  de resonancias de anillo (que se da cuando los campos electromagnéticos se  acoplan a la cerámica del encapsulado) y de cavidad (que se dan cuando el  volumen encerrado por el encapsulado se comporta como una cavidad metálica).  Estas resonancias se observan como picos largos en la comparación de pérdidas  de inserción y frecuencia en el marco del encapsulado.
Las resonancias de anillo pueden eliminarse fabricando  el marco a partir de un metal. Ya que muchos diseños de marcos metálicos son  difíciles de fabricar, se utilizan soluciones de menor coste, como fabricar a  partir de un material cerámico (alúmina). Se colocan varias láminas finas de  cerámica verde para formar un marco que es posteriormente metalizado y añadido  a la base metálica. Además de ser más barato, este método asegurar que el marco  quede unido a la base metálica, reduciendo el acoplamiento.
Las resonancias de cavidad se predicen a partir de un  modelo donde se consideran la longitud, anchura y altura de la cavidad (L, W y  H respectivamente). La plancha de dieléctrico es de grosor d y permitividad  relativa Er. La cavidad está excitada por una línea microscópica de entrada y  salida.
6. Fiabilidad
La fiabilidad se define como la probabilidad de que un  elemento realice una función requerida bajo unas determinadas condiciones y  durante un determinado período. La fiabilidad la podemos expresar como una  distribución de probabilidad. Hay muchos factores que influyen en la fiabilidad  de un producto, como pueden ser el diseño, la producción, aplicaciones  eventuales, la aparición del factor humano en pasos de la cadena de producción…
6. 1. Incidentes
La definición de un incidente es una parte importante  a la hora de estudiar la fiabilidad en sistemas semiconductores, los  clasificamos en 2 grupos:
- incidentes por degradación, donde alguna propiedad de algún componente       se encuentra muy lejos del valor que debería tener para su buen       funcionamiento.
 - incidentes catastróficos:fin del ciclo de vida de algún componente o       completa destrucción del mismo.
 
6. 2. Incidentes Físicos
Los elementos que nos limitan en este sentido suelen  ser los elementos activos (como los FET). Uno de los factores limitantes en  fiabilidad suele ser la resistencia ohmica de los contactos de los FET, pero el  factor más importante es el relacionado con el canal del FET. Otro de los  factores limitantes en los dispositivos GaAs suele ser la migración metálica  (movimiento del metal en el conductor causado por el flujo de corriente) el  efecto del scattering metálico empuja los átomos en dirección del flujo. Así el  metal puede ser eliminado de una zona y acumulado en otra, esto produce en la zona  de acumulación que se reduzca la sección del área del conductor, lo que aumenta  la densidad de corriente pudiendo llegar a quemar el dispositivo. Esta es la  principal razón para la limitación de corriente en dispositivos MMIC. A parte  de estos factores, pueden darse otros si no préstamos la suficiente atención a  la hora de la fabricación de los dispositivos MMIC. Tomando las suficientes  precauciones el tiempo de vida de un dispositivo MMIC suele rondar las 1000000  horas a temperaturas de operación normales.
6. 3. Incidentes por Radiación
La habilidad de los sistemas GaAs para soportar  radiaciones es muy importante tanto en sistemas militares como espaciales. Los  objetos en la órbita terrestre están sometidos a radiaciones. La dosis  acumulada a lo largo del tiempo es bastante considerable, pero el blindaje de  los dispositivos espaciales debe ser el mínimo por consideraciones obvias de  peso y costes. Muchas aplicaciones militares han de soportar grandes dosis de  radiación causada por explosiones nucleares. Los dispositivos GaAs generalmente  soportan mucho mejor las radiaciones que los basados en silicio.
6. 4. Fiabilidad de los sistemas GaAs
Para el estudio de la fiabilidad se exponen los  sistemas a altas temperaturas, acelerando así el proceso de observación de  incidentes, es una técnica conocida como testeo acelerado que usa la ecuación  de Arrhenius, y es muy usada en la industria semiconductora. Para un buen  testeo acelerado, es necesario conocer la temperatura del dispositivo. Los  dispositivos MMIC con elementos activos como los FET generalmente tienen áreas  más calientes que otras. Las resistencias pueden ser también puntos  significativamente más calientes que las porciones colindantes en el chip. Los  cambios físicos y químicos que producen los incidentes suelen producirse en  estos puntos calientes. Por eso es necesario monitorizar estas zonas,  comprobando su temperatura. El GaAs es relativamente un mal conductor térmico,  su conducción térmica es aproximadamente 1/3 de la del Si. Por otra parte las  partes activas de los dispositivos GaAs como los canales de los FET son también  muy pequeñas. Estos dos factores significan que las áreas activas de los  dispositivos GaAs están mucho más calientes que las áreas que las rodean, y que  esta temperatura es superior a la temperatura ambiente. La conductividad  térmica del GaAs decrece según se incrementa la temperatura. Esto significa que  según la temperatura ambiente es aumenta, las diferencias de temperatura entre  las áreas dentro del chip son mayores también. La temperatura en los  dispositivos activos dentro del chip está caracterizada por la resistencia  térmica. La resistencia térmica se define como la diferencia en temperatura  entre el punto más caliente y algún punto de referencia (que generalmente es la  temperatura ambiente) dividida por la potencia disipada por el dispositivo, y  se mide en °C/W. Nótese que la resistencia térmica variará con el tamaño de  dispositivo. Dado que la mayoría de las incidencias tienen lugar en el canal de  los FET, la mayoría de los test están referenciados a la temperatura del canal.
7. Fallos que afectan a los dispositivos MMIC
La mayoría de los fallos que pueden afectar a los  dispositivos se catalogan en dos categorías: catastróficos y no catastróficos.  Estos fallos afectan de igual manera a la fiabilidad y al rendimiento.
7. 1. Efectos generales en los MMIC
Estos fallos vienen dados por la degradación en los  parámetros característicos de los dispositivos. Su gravedad será determinada  por el diseño y la función que desarrolla el MMIC afectado, además de la  gravedad de la degradación.
Dibujo 4
7. 2. Fuentes de error en los MMIC
Dibujo 5
Responsabilidades generales de fallos mecánicos por categorías.
Los fallos en los mecanismos con semiconductores se  dividen en cuatro categorías generales:
- Inducción-Interacción-Materiales de los Mecanismos
 - Estrés inducido en los Mecanismos
 - Fallos inducidos Mecánicamente
 - Fallos inducidos por el Medio Ambiente
 
La primera categoría la podemos subdividir en dos  subcategorías:
- Desfallecimiento de los materiales semiconductores y las interacciones       metálicas.
 - Desfallecimiento del encapsulado e interconexiones.
 
Los fallos por estrés debidos a un pobre diseño o  dispositivos descuidados. La mayoría de los fallos en MMIC son derivados de la  sucesión de varios incidentes de las categorías anteriores.
7. 2. 1. Fallos de  Materiales-Inducidos-Interacciones
Los procesos que involucran interfaces de metales  semiconductores y que no están diseñados o/y aplicados adecuadamente pueden  producir una degradación del dispositivo hasta el fallo del mismo.
- Hundimiento de Puerta: Se produce cuando los materiales o el proceso de creación de la       capa barrera son de mala manufacturación. Permitiendo una rápida difusión       dentro de la capa barrera. Este mecanismo es observado después de la       exposición a una prueba de aceleración de la vida o el funcionamiento a       temperaturas elevadas, el factor impulsor de este mecanismo es la difusión       térmica acelerada de Au en GaAs. La estructura de la puerta de       metalización consta de tres capas. El primer contacto con la capa de GaAs       es una fina capa de Ti utilizados principalmente para la adhesión. La       segunda capa es Pd o Pt. Esta capa se utiliza como una barrera Au a la       difusión en GaAs. La última capa es espesa Au utilizada para la       conducción. La tasa de Au en la difusión de la puerta de metal de GaAs es       una función de la difusividad del material de la puerta de metal, la       temperatura, y el gradiente de concentración de materiales.
 
- Degradación del Contacto Óhmico: En este caso la degradación de los materiales de la capa barrera       produce una variación en la resistencia de contacto. Produciendo       variaciones entre 0,5 eV y 1,8 eV. La comprensión general de contactos       óhmicos atribuye la degradación a lo siguiente:
 
1. Difusión Ga en la capa de Au, lo que crea una  región defecto-rica de alta resistividad debajo del contacto. 2. Difusión de Au  y Ni en el GaAs, lo que puede causar una reducción en la concentración contra  el dopaje en el canal activo del dispositivo . 3. La formación de fases  intermetálicas tales como AuGa y Ni2AsGe como resultado del proceso de aleación.
- Degradación del Canal: Se atribuye a cambios en la calidad y la pureza de la zona de       canales activos y una reducción en la concentración por debajo de la       puerta Schottky . Estos cambios han sido postulados para ser el resultado       de la difusión de dopante del canal o la difusión de la impurezas o       defectos del substrato del canal.
 
- Efectos de Estado de Superficie: El rendimiento depende de la limpieza de la superficie de los materiales       y procedimientos, del método y las condiciones de deposición, además de la       composición de la capa de pasivación. Si estas condiciones no alcanzan los       niveles óptimos se produce un aumento de la densidad de superficie de       estado reduciendo el efecto eléctrico de la región drenador.
 
7. 2. 2. Fallos por estrés inducido
Todo dispositivo en funcionamiento esta sujeto a unas  ciertas condiciones de estrés. Si estas condiciones son elevadas o inadecuadas  para su diseño y funcionamiento pueden conllevar a fallos catastróficos.
- Electromigración: Es el movimiento de los átomos de metal a lo largo de una tira       metalizada debido al impulso producido por el intercambio de electrones.       Esto dependerá de la temperatura y el número de electrones que participen       en el proceso. Este movimiento puede provocar la acumulación de material y       la formación de vacíos perpendiculares en la fuente y oteros en la zona       del drenador, provocando cortocircuitos o fallos catastróficos.
 
- Agotamiento: Es       el aumento localizado de la disipación de energía. Hay dos tipos de       agotamiento:
 
Instantáneo: Causado  por eventos súbitos tales como las descargas electrostáticas (ESD), eléctricas  overstress (EOS) y los picos RF. Están relacionados con la robustez del diseño  y los materiales.
A largo plazo: Debido a  la degradación de los parámetros a largo plazo por el envejecimiento de los  materiales. Uno de los factores que pueden contribuir a esta condición de los  efectos superficiales, como la oxidación reducción de GaAs y el recocido de los  estados de superficie, puede causar un aumento de la corriente de fuga y  reducir el desglose de tensión.
- Captura de Electrones Sobreexcitados: Cuando se trabaja en busca de la máxima potencia o rendimiento       se puede producir una sobreexcitación de los electrones. La captura de       estos electrones sobreexcitados conlleva una variación y degradación del       umbral de tensión. Con capacidades de modelado de dispositivo y la       utilización de nuevas técnicas de medición, es posible optimizar sin       muchas iteraciones. Mejora de la Si3N4 como una superficie de pasivación       es otro claro enfoque para limitar el efecto descrito. Sin embargo, la       pasivación perfecta de la superficie GaAs todavía no se ha encontrado.       Otros enfoques, tales como limitar la tensión de funcionamiento e incluir       en la región de drenador dopajes bajos son comunes en un MOSFET.
 
- Estrés Eléctrico: Es debido a un funcionamiento o utilización inadecuada del       dispositivo, llevando a una degradación acelerada que desemboca en errores       catastróficos. También puede ser por una inadecuada protección del       dispositivo ante descargas electrostáticas (ESD). La alta densidad de       corriente causada por la ESD puede provocar calentamiento localizado en el       interfaz principal metal-semiconductor a la difusión Ga en la metalización       y difusión Au en GaAs. Los elementos pasivos MMIC, tales como       condensadores, resistencias, e interconexiones metálicas, también pueden       exponer los efectos perjudiciales de la ESD.
 
7. 2. 3. Fallos Inducidos Mecánicamente
- Fractura del Troquelado: La diferencia de coeficientes termales de expansión (CTE), el       portador o el sustrato en el encapsulado puede producir fracturas en el       troquelado durante el ciclo de temperatura. Las grietas de superficie       también pueden derivarse de una inadecuada operación de corte, o de una       inadecuada técnica de montaje. Las grietas y fracturas cerca de una región       activa del dispositivo pueden dan lugar a cambios del umbral de voltaje y       el rendimiento general del dispositivo de degradación. Un aumento en la       corriente de fuga en ese lugar puede resultar en una condición térmica y,       en última instancia, fallo catastrófico de los dispositivos.
 
- Huecos en el Troquelado: La presencia de huecos en las bornas del troquelado pueden       inducir alta potencia longitudinal en su ciclo de temperatura. La       propagación de estos huecos puede desembocar en la determinación e       interrupción de la vía térmica. Rara vez se observa el troquelado del       encapsulado o substrato debido a propagación en el vacío. Aunque los       huecos pueden formar a partir de una serie de fuentes, el control de       procesos puede limitar los efectos a un nivel aceptable. El encapsulado o       construcción del substrato, las propiedades físicas, la limpieza y métodos       de aplicación, y la nula concentración y la ubicación determinan el efecto       de los huecos en el dispositivo.
 
7. 2. 4. Fallos Inducidos por el Medio Ambiente
Todos los dispositivos dependen de las condiciones  medioambientales en las que trabajan. Esto afectará a su estabilidad y  rendimiento. Algunos ejemplos son:
- Humedad: Acelera       la aparición de fallos mecánicos y se da en los dispositivos empaquetados       de GaAs no herméticos con envases cerrados o de plástico. La corrosión anódica       de oro es el principal culpable de los fallos en el dispositivo de GaAs en       ambientes con humedad alta, al detectarse hidróxido de oro. En estas       condiciones, también se han observado la disolución de As y el crecimiento       de filamentos Ni a lo largo de la dirección del campo eléctrico de       contactos óhmicos adyacentes a la puerta.
 
- Efectos del Hidrógeno: Produce degradaciones de IDDS, VP, gm y POUT. Se da en       recipientes encapsulados herméticamente en condiciones de hidrógeno. Se       cree que el hidrógeno atómico se difunde en los canales de GaAs y formas       Si-H, neutralizando los donantes, lo que puede reducir la concentración de       portadores en el canal, que, a su vez, puede disminuir la fuga de       corriente, transconductancia y la ganancia del dispositivo. Algunas de las       posibles soluciones incluyen tratamiento térmico de los materiales de       empaquetado para reducir la cantidad de hidrógeno a partir del empaquetado       hermético, y el uso de barreras materiales que no contengan las       estructuras Pt / Ti o Pd / Ti . Estas soluciones tienen limitaciones y los       posibles problemas de inestabilidad que deben ser plenamente corregidos       antes de su aplicación en entornos de alta fiabilidad.
 
- Contaminación Iónica: Puede producir cambios en la concentración umbral y esto en       cambios de voltaje. La contaminación iónica puede ocurrir durante el       proceso, el empaquetamiento, la interconexión y el funcionamiento en un       lugar desprotegido. La preparación de la superficie y la limpieza, la       caracterización y control de materiales y entornos, y la protección       (pasivación) de la zona activa de los dispositivos puede reducir o       eliminar algunos fallos relacionados de la contaminación iónica. El       horneado y la exposición a altas temperaturas durante la combustión en       dichas medidas han resultado ser eficaces como métodos de detección de       problemas de contaminación iónica.
 
8. Metodología de diseño y verificación de MMIC
Este capítulo describe los aspectos generales del  diseño de un MMIC.
8. 1. Documentación
En general, la documentación disponible debería  proveer al cliente interesado de una descripción de los instrumentos de CAD,  los pasos de proceso , y métodos de evaluación usados en el proceso de  creación. Una documentación típica puede incluir:
- Las capacidades de procesamiento de un conductor
 - Diseño, normativa a seguir y herramientas para el layout
 - Librerías disponibles
 - Herramientas de simulación disponibles
 - Dispositivos disponibles y modelos de los diferentes elementos del       circuito
 - Diagrama de flujo
 - Verificación y revisión
 - Métodos de evaluación.
 
8. 2. Simulación del MMIC
La simulación del circuito es un paso esencial en el  diseño y fabricación de MMICs con propósito de producción. Una simulación puede  dar una primera aproximación del circuito funcional realizado bajo unas  condiciones de entrada y salida. Actualmente la mayoría de los simuladores  incluyen herramientas de optimización que reducen en gran medida el tiempo de  diseño e incrementa la probabilidad de éxito. Además la mejora de procesamiento  de los ordenadores los recientes avances en desarrollo software y nuevas  técnicas software han dado lugar a herramientas de diseño interactivas muy  avanzadas.
El desarrollo de un software comercial que integra los  diferentes estados de desarrollo de un MMIC como el esquema, capturas de datos,  simulación layout, han sido el resultado de los recientes avances tecnológicos  de MMIC CAD motivados por las necesidades del mercado. Algunas herramientas de  simulación:
- Compact Software's Microwave Harmonica (r) es bastante utilizado para el diseño de MMICs de GaAs. Sirve en       simulaciones de circuitos de microondas tanto lineales como no lineales,       simulándolos con modelos de elementos distribuidos. Los circuitos no       lineales se simulan usando técnicas de equilibrado armónico en el interfaz       entre las partes lineal y no lineal del circuito. Este simulador también       ofrece optimización, análisis estadístico y síntesis de tensión, además de       análisis y optimización de oscilador y ruido de fase.
 
- The Compact Software Microwave Explorer (r) es una herramienta de análisis electromagnético en 3-D empleada       para simular estructuras pasivas planares en medios abiertos y       encapsulados. Se introducen los circuitos con un editor de polígonos       integrados. Este paquete incluye un interfaz de gráficos para la       visualización de cartas de Smith, gráficas rectangulares y de distribución       de corriente.
 
- The Compact Microwave Success (r) es       un simulador de bloques que permite examinar información como parámetros S       y parámetros de ruido en componentes de radiofrecuencia y microondas. Este       programa permite trabajar con mezcladores, filtros, antenas y       amplificadores. El paquete también generará los datos en diversos formatos       estándar, ofrecer análisis de temperatura, frecuencia, potencia y otras       variables definidas por el usuario.
 
- HP EEsof's Libra (r) es       otra herramienta de diseño y simulación empleada en MMICs de GaAs lineales       y no lineales. Realiza simulaciones en el domino de la frecuencia usando       modelos de elementos utilizados en circuitos de microondas. Los circuitos       no lineales se simulan con técnicas de equilibrado de armónicos. Libra       Design Suite (r) es una herramienta de simulación y trazado desarrollado       para el diseño de RF y microondas.
 
- Series IV Project Design Environment (r) es un medio de diseño gráfico. Permite el diseño, simulación,       trazado y documentación de sistemas y circuitos de alta frecuencia. Este       paquete contiene capacidad de captura de esquemas, simulación en alta       frecuencia, simulación electromagnética, simulación de sistemas, trazado       de circuitos y una recopilación de bibiliotecas de diseño y varias       herramientas y enlaces de terceros.
 
- Microwave Design System (r), de       HP/EEsof, se basa en UNIX y sirve para el diseño de circuitos y sistemas       de alta frecuencia. Permite simulación lineal y no lineal, análisis de       sensibilidad, además de captura de diseño y trazado de circuitos.
 
- Mathematica (r) es       un software interactivo para la resolución de problemas matemáticos       complejos que permite desarrollar modelos matemáticos de sistemas y       componentes de microondas.
 
- Microwave Spice (r) es       un simulador en dominio del tiempo parecido al Berkeley Spice (r). Incluye       muchos efectos y componentes de microondas, útiles en el diseño de MMICs,       sobre todo en el diseño de osciladores de microondas.
 
Existen muchos más en el mercado dependiendo de las  necesidades de diseño que requiera el MMIC. Así, las herramientas de simulación  electromagnética pueden emplearse junto a simuladores en domino del tiempo o de  la frecuencia o como simuladores de EM indpendientes, como Ansoft  Maxwell Eminence (r), un simulador en 3-D. Otro ejemplo es Sonnet  (r), capaz de aceptar entradas en los formatos de GDSII, HP/EEsof, Cadence,  y AutoCAD. Las salidas obtenidas son parámetros S, distribuciones de corrientes  y patrones de radiación.
8. 3. Metodología típica del diseño
En el mercado competitivo, la reducción de coste en  todas las etapas de diseño, fabricación, y de evaluación tienen suma  importancia. El empleo de simulación de CAD y herramientas de diseño juega un  papel principal en el éxito y producción de un diseño de MMIC
El diseño de un MMIC implica dos etapas críticas: la  especificación de funcionamiento, el diseño del circuito y la simulación. Otras  funciones como la fabricación y el testeo también deben considerase durante las  etapas de diseño hasta llegar a un producto manufacturable con la alta  prestación y el funcionamiento deseado.
Etapas:
- Requerimientos del cliente.
 - Estudio de las diferentes tecnologías para el proceso de diseño
 - Disponibilidad de elementos para el diseño.
 - Coste y compensación de funcionamiento.
 
9. Modelado de dispositivos
Es sumamente importante completar el modelado de  dispositivo MMIC y la simulación antes de la fabricación porque la tecnología y  el diseño iterativo son caros y la tecnología a menudo no permite a la sintonía  de post-fabricación. Por lo tanto, la exactitud del modelado es una parte  esencial para tener éxito en el diseño. El modelado de dispositivo es útil no  sólo en el diseño, sino también en el control de producción, y el análisis de  la productividad y rendimiento.
Para el estudio de este apartado veremos: los  diferentes tipos de modelos, circuitos equivalentes, el enfoque al modelado, el  software de modelado disponible en el comercio, o la sensibilidad de los  modelos.
Aunque el contenido acentúe MESFETS, la metodología  usada puede ser aplicada a otros dispositivos MMIC, como HEMTS, HBTs, y diodos.
9. 1. Tipos de modelos
Un modelo de dispositivo puede estar compuesto por un  conjunto de circuitos elementales equivalentes con una topología de circuito  particular, o por un conjunto de ecuaciones que, siendo evaluadas, predicen el  funcionamiento de dispositivo. Un proceso de modelado generalmente incluye tres  pasos: caracterización, extracción de parámetros y modelado.
Tres procesos están estrechamente relacionados en un  número de importante caminos. La exactitud de cualquier modelado de  dispositivo, en última instancia, es limitada por la precisión con que sus  parámetros son determinados. La extracción de parámetro es dependiente del tipo  y de la exactitud de datos de caracterización del dispositivo disponibles. Las  ventajas del modelado de dispositivo son parcialmente determinadas por la el  tipo de caracterización requerida. Por lo general, el modelado de dispositivo  MMIC puede ser clasificado en tres categorías: Modelos de Dispositivo Empíricos  (EDMs), Modelos Físicos (PBMs), y modelos basados en datos.
Los EDMs usan circuitos equivalentes para simular el  comportamiento externo de los dispositivos. Este modelo consiste en un número  de elementos lineales y no lineales conectados mediante una topología  predefinida. Varios EDMS, incluyendo los de pequeña señal y los de gran señal,  han sido extensamente usado en la ingeniería MMIC automatizada. Las ventajas de  EDMS son su sencilla caracterización, su implementación, y la simulación de  circuito.
Para obtener sus predicciones de funcionamiento, los  PBMs estudian los parámetros físicos que describen la geometría del  dispositivo, los materiales, y los parámetros de proceso. Estos parámetros  normalmente incluyen la longitud de puerta, la anchura de puerta, grosor del  canal, y la densidad de dopaje. Los PBMs tienen una ventaja sobre los EDMS, y  es que permiten estudiar los efectos de la variación del proceso durante el  funcionamiento del dispositivo; tales efectos son críticos para la predicción  de producción y para el proceso de control. Sin embargo, es difícil, y en  algunos casos incluso imposibles, obtener los parámetros exactos físicos  requeridos para describir el dispositivo.
Recientemente, modelos basados en datos (también  conocidos como basados en la medida) se han hecho populares entre los  diseñadores de dispositivo. Los Modelos basados en datos están directamente  creados a partir de los datos medidos independientemente de los parámetros de  proceso. Un modelo basado en datos puede predecir el comportamiento que se  producirá en un nuevo proceso, que mediante funciones empíricas podría ser  difícil de representar. Sin embargo, su carencia "idea física" en el  dispositivo real estudiado es una desventaja.
9. 2. Circuitos Equivalentes
El circuito equivalente de un dispositivo MMIC es una  abstracción y la simplificación que cede una representación del dispositivo.  Esta debe representar adecuadamente todas las características físicas  importantes del dispositivo. Explotar las relaciones entre los elementos de los  circuitos equivalentes y los físicos del dispositivo será importante para el  modelado del dispositivo.
9. 3. Software de modelado
El Modeling software MMIC incluye el modelado de  dispositivo y el modelado de proceso. Ya que hay un número grande de  dispositivos de modeling software disponibles, es necesario examinar la  compatibilidad del software usado por clientes y la fundición, y entre el usado  para el modelado y la simulación.
10. Metodologías de cualificación
En este apartado se perfila el procedimiento  recomendado para el diseño, la fabricación, y la aceptación de espacio  calificado como MMICS. No se presentan datos específicos para la fiabilidad,  sino las preguntas que un usuario MMIC debería pedir del fabricante para  asegurar un nivel razonable de la fiabilidad, y al mismo tiempo esto trata de  presentar al fabricante MMIC las metodologías que han sido aceptadas y  practicadas por algunos miembros de la industria en la esperanza que un  procedimiento de cualificación estándar puede desarrollarse. Además, los  detalles de esta metodología de cualificación dependen del tipo de circuito  siendo fabricado y los dispositivos incorporados en el circuito.
10. 1. Certificación de la compañía
La obtención de MMICS es a menudo resultado de una  sociedad a largo plazo entre el cliente y el fabricante para la obtención del  mismo ambas partes añaden conocimiento y experiencia al proceso para asegurar  que la fiabilidad sea la requerida y se obtenga la satisfacción de los datos específicos  de funcionamiento requeridos. La relación se desarrolla después de que la  confianza mutua es establecida. Si las partes nunca han trabajado juntas, el  usuario MMIC todavía puede ganar la confianza necesaria en el fabricante si el  fabricante puede demostrar que tiene la documentación, procedimientos, y las  prácticas de dirección que controlan las instalaciones, el equipo, diseñan  procesos, procesos de fabricación, y el personal. Estos artículos son  típicamente la parte de un Programa de Dirección de Calidad total y perfilados  en un Plan de Dirección de Calidad. Explicando algunos de los apartados más  importantes de la certificación tenemos:
- Comité examinador de Tecnología
 
Para asegurar la calidad y la fiabilidad de MMICS, los  fabricantes deberán tener un comité permanente o se alojarán en el lugar  dotados del conocimiento del proceso de fabricación entero del MMIC y la  autoridad para cambiar el proceso si la calidad de las partes no se mantiene.  Comúnmente se llama a este Consejo Comité examinador de Tecnología.
- Control de la manufactura
 
La fabricación MMIC es un proceso muy complicado que  implica muchos materiales y pasos, lo que resulta crítico cara al  funcionamiento del MMIC y su fiabilidad. Sólo se puede esperar que una línea de  producción correctamente controlada y de forma rutinaria produzca la calidad  esperada para los MMIC. Así, al cliente se le debería asegurar que el  fabricante utiliza procesos sólo certificados y tecnologías cualificadas en  cada intervenir la fabricación del MMIC del ordenamiento de materiales al  embarque (transporte) del MMIC.
- Entrenamiento
 
Incluso estando bien mantenido y calibrado el equipo,  no puede producir la calidad MMICs sin operadores expertos. Para asegurar las  habilidades del personal empleado en el diseño, la fabricación, y las pruebas  del MMICS, cada ingeniero, el científico, y el técnico deberían tener la  educación (el entrenamiento) formal en relación con sus tareas. Deberían  proporcionar además el mantenimiento, probando de nuevo y reciclando con  regularidad para mantener la habilidad del trabajador, sobre todo si el nuevo  equipo o procedimientos son presentados en el proceso de la fabricación.
- Acción del plan correctivo
 
Una de las mejores maneras de mejorar la fiabilidad de  los productos manufacturados por partes, es poner a prueba y analizar las  partes incluida la no-retorno de todas las etapas de fabricación, y, basándose  en las conclusiones, que las medidas correctoras a la industria proceso o la  educación de los usuarios MMIC. El plan que describen estas acciones  correctivas está documentado normalmente.
El plan de acción correctiva debe describir los pasos  seguidos por el fabricante para corregir cualquier proceso que está fuera de  control o que sea defectuoso, y el mecanismo y los plazos que el fabricante seguirá  para notificar a los clientes posibles problemas de fiabilidad.
10. 2. Proceso de Cualificación
10. 2. 1. Verificación del diseño
- Diseño, Modelo y Simulación
 
Una de las mejores maneras de reducir la ingeniería de  costos de MMIC y la mejora para verificar la fiabilidad, es el diseño, modelo y simulación, para la  disposición de las MMIC lo que comienza antes de la fabricación. Durante el  ciclo de diseño, estas verificaciones se abordan normalmente a través de una  serie de comentarios de diseño que incluyen representantes de todas las  empresas que participan con el fabricante y con el futuro uso de la MMIC.  Además, los representantes deben proceder de todos los departamentos MMIC que  participan en la integración, incluida la de los diseñadores, personal de la  fabricación, el personal de la metrología de RF, los ingenieros, diseñadores…  Normalmente, los exámenes se realizan antes de que se envíe a los circuitos de  diseño y maquetación, pero antes de la fabricación de máscaras, y después de  esto se realiza la caracterización final MMIC.
10. 3. Cualificación del producto
Un consumidor espera que el fabricante verifique que  sus productos son correctamente diseñados.El consumidor también podría esperar  que el fabricante especificase las condiciones medio ambientales para el cuál  el producto ha sido diseñado. El fabricante podrá asegurar su funcionamiento en  estos entornos sólo si ha verificado el producto después de la fabricación.
Para MMICs el proceso de obtener todos estos datos se  llama cualificación del producto o validación del diseño, y cada diseño MMIC  debe pasar la cualificación del producto antes de que se ponga a la venta.
El primer paso en la verificación del diseño tiene  lugar antes de la generación de la máscara e incluye el diseño, la simulación y  la verificación de la disposición de los circuitos. El resto de la verificación  del diseño incluye la caracterización eléctrica completa del circuito para  establecer su funcionamiento, análisis de las condiciones ambientales y la  caracterización electrostática de la descarga. Posteriormente verifica los  resultados de la prueba de voltaje y de temperatura. Aunque la secuencia de las  pruebas puede ser alterada, se recomienda que la verificación del diseño y de  la disposición circuital se realicen primero. A continuación, se debe seguir  por la verificación eléctrica. Esto es sólo una recomendación y no todas las  pruebas se pueden aplicar a todos los diseños circuitales. Todos los  participantes en el diseño MMIC, fabricación e integración del producto final deben  estar implicados en la decisión de las pruebas requeridas.
10. 4. Aceptación del Producto
Aunque un MMIC puede ser diseñado por ingenieros  altamente cualificados, ser fabricados en un proceso de línea de producción  cualificado, a través de mediciones y verificado para satisfacer los objetivos  de diseño, con piezas características, aun existen problemas de fiabilidad.
Esto puede ser debido a variaciones en el proceso de  fabricación, o fallos que se detectan en el material, o, por lo que es el caso  más a menudo, al paquete MMIC , por fallos impuestos al MMIC durante el  embalaje. Independientemente de la causa, estas debilidades se deben encontrar  y ser eliminadas antes de que se integren en el sistema.
Por lo tanto, todos los fabricantes de alta fiabilidad  de sistemas, incluyendo sistemas espaciales, requieren la MMICs que superen  aceptación por pantallas, cuyo único propósito es aumentar la confianza en la  fiabilidad de la MMICs.
Hay que tener en cuenta que este paso en la  metodología de calificación es la principal diferencia entre el espacio  cualificado MMICs y de calidad comercial MMICs.
10. 5. Pasos para la aceptación de un producto
-Estabilización
-Análisis SEM (Scanning Electrón Microscopy)
-Prueba del enlace
-Inspección visual
-Pantalla de choque y Ciclo de temperatura
-Pantalla de choque mecánica
-Aceleración constante
-Detección de ruido
-Prueba de escape
11. Aplicaciones
Los MMIC se usan en sistemas comunicaciones para la  banda de microondas, como la telefonía móvil o los sistemas de satélite, ya que  éstos requieren circuitos más pequeños y más baratos. También se utilizan  cuando la reactancia parásita inherente a los circuitos integrados híbridos está  degradando el funcionamiento del circuito, normalmente esto sucede en el alto  espectro de las microondas y en el espectro de las ondas milimétricas.
Otros sistemas de telecomunicaciones en los que se  utiliza tecnología MMIC son receptores y transmisores para comunicaciones,  arrays de antenas en fase donde se requiere pequeño tamaño y funcionamiento de circuito  uniforme, sensores yradares que trabajen en altas frecuencias.
11. 1. Tecnología espacial y militar
Desde sus comienzos, se introdujeron los MMICs de GaAs  en varias aplicaciones espaciales y militares (de hecho, su uso era exclusivo  de ambos en estos comienzos), convirtiéndose en la tecnología elegida por la NASA  y el Departamento de Defensa de EE.UU. para sistemas de telecomunicación  avanzados. El desarrollo de los MMICs ha proseguido hasta el fosfato de indio  (InP), que permite una velocidad de cuatro a diez veces mayor que la anterior  tecnología MMIC y requiere menos potencia, algo que tanto la NASA como el  Departamento de Defensa están empezando a considerar.
11. 1. 1. Programa SETI (Búsqueda de Inteligencia  Extraterrestre)
Los MMICs han mostrado ser de utilidad para la  creación de componentes relacionados con el programa SETI. El MMIC normalmente  sólo necesita un par de condensadores emparejados y una resistencia para crear  un amplificador de propósito general con impedancia de entrada y salida  constantes, ganancia fija y una figura de ruido constante sobre un gran rango  de frecuencias, además de ser muy baratos.
En los laboratorios de la Liga SETI se han estado  usando MMICs tanto de silicio (Si) como de arseniuro de galio (GaAs) con amplificadores  de ruido bajo, amplificadores activos, amplificadores de frecuencia inmediata  (IF), cadenas locales de osciladores, pruebas de señales de origen y en otros  dispositivos donde se requiera un bloque de ganancia estable y de banda ancha.
11. 2. ACTS (Tecnología Avanzada de  Comunicaciones por Satélite)
Los MMICs han demostrado ser útiles en terminales  aeronáuticas y en terminales fijos o móviles terrestres relacionados con la  Tecnología Avanzada de Comunicaciones por Satélite (ACTS) de la NASA. Se  realizaron pruebas entre mayo de 1994 y mayo de 1995 con MMICs de GaAs  transmitiendo a 30 GHz, desarrollado por el Centro de Investigación Lewis de la  NASA y por Texas Instruments, y receptores de 20 GHz para ACTS por el  Laboratorio Rome de la Fuerza Aérea, empleando tecnología de circcuitos  integrados proporcionada por la compañía Boeing y la corporación Lockheed  Martin.
Las pruebas tenían especial interés tanto para el  Gobierno como para aplicaciones comerciales y demostraron la posibilidad de  establecer una comunicación dúplex de voz, por ejemplo, con una terminal  aeronáutica o con un vehículo de propósito múltiple de gran movilidad (HMMWV).
El éxito de estas pruebas, basado en cooperación entre  Gobierno e industria y al trabajo en equipo dentro de Lewis, supuso un  incentivo para continuar la investigación y desarrollo de la tecnología de  comunicación por satélite basada en MMIC, centrándose en los problemas de  empaquetamiento y costes.
11. 3. Uso comercial
Siguiendo una visión de "uso dual", Northrop  Grumman transformó la tecnología para uso en amplificadores de potencia para  telefonía móvil. Una de las divisiones de Northrop Grumman es actualmente el  proveedor mundial de estos amplificadores de potencia. En la actualidad, se  está tratando de buscar nuevas aplicaciones comerciales, como los sistemas de  aviso de colisiones de vehículos.
12. Enlaces de interés
http://www.ugr.es/~decacien/Planes/Electronica/Plan%202000/temarios/10011c2.htm
http://www.biblioteca.universia.net/html_bura/ficha/params/id/3996141.html
http://www.accesomedia.com/display_release.html?id=44570
http://www.iec.csic.es/ursi/articulos_villaviciosaodon_2001/articulos/209.pdf
http://www.microwaves101.com/encyclopedia/mmics.cfm
http://parts.jpl.nasa.gov/mmic/3-IX.PDF
http://www.wipo.int/pctdb/en/wo.jsp?IA=WO1992005580&DISPLAY=DESC
http://www.tdx.cesca.es/TDX/TDR_UC/TESIS/AVAILABLE/TDR-0305107-174432//04de10.BAA_cap4.pdf
Extraido de http://wapedia.mobi/es/MMIC
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